热式质量流量控制器/流量计的核心是传感器，由带有热敏电阻的不锈钢毛细管组成，MFC/MFM工作时，传感器的温度会达到100℃以上，而气体温度低于传感器温度。工作时，一部分气体会流经传感器，造成传感器温度的变化，从而引起传感器电阻值的变化，通过ΔR的大小可以计算出气体的质量流量大小，而大部分气体会通过MFC的主流通道，这部分是由一束均匀分布的不锈钢分流管组成的层流元件组成。得益于完美的流量分层，使得传感器检测的气体质量流量与总质量流量成正比关系从而计算出测量值。

热式质量流量控制器原理：

基于热交换原理的MEMS质量流量传感器：结构由位于由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。

1. 当传感器表面没有气流时，微热源周围的温度场呈对称分布，见上左图；

2. 当传感器表面有气体流动时，气体对微热源有冷却效应，将从微热源带走一部分热量，从而导致微热源周围的温度场对称性被破坏。且气体的流速越大，气体从微热源带走的热量越多，微热源周围的温度的不对称性越大。气体的流速通过上下游温度传感器的温度差计算出来。

热式质量流量控制器原理的优势：

热式质量流量计是目前测定小流量气体常用的仪表。自从20世纪70年代中期推行以来，仪表经历了相当大的发展，从模拟量到数字，从小流量到大流量，从实验室和装备应用到工业环境甚至危险区域应用。几乎所有小流量气体应用都有合适的热式质量流量计。用于小流量气体测量应用的其他测量原理包括科里奥利流量测量和差压测量。

热式质量流量控制器的应用：

将 MFSH01/MFSL01 传感器贴在预先定义好的 RF4 或陶瓷基板上，并将基板放置于在精心设计的气体流道中可实现质量流量的双向测量。它特别适合于具有高可靠性、高精度、宽量程要求的洁净气体的测量和监控，包括汽车空气流量检测、医疗呼吸检测及工业气体测量等应用。

传感器可在恒定功率（CP）和恒定电压（CV）模式下工作，但由于 CTD 模式可保证传感器有宽的动态测量范围，因而更推荐工作在所述恒温差（CTD） 模式。所谓的 CTD 测量，是微热源的温度高于环境气体的温度，气体流过时带走一部分热量，保持加热元件和被测气体温度差恒定在一定的温差，控制和测量热源提供的功率，功率消耗随流速的增加而增加，由功率的消耗反映气体流速。

在 CTD 模式工作时，流量模组可非常快速地检测热平衡的任何变化，并通过加热器调整电源功率的以此测出流速的大小。这种模式可提高质量流量的测量精度以及获得毫秒的响应速度。

总结：热式质量流量控制器事实上就是流量计组合集成或外接控制阀。此类紧凑仪表用于必须精准控制气体的应用。质量流量控制器持续将输出信号与来自电压、电流或数字（现场总线）源的设定点信号进行比较。设定点信号和测量信号之间的任何偏差都会转化为电磁控制阀调整，直到两个信号完全相同。以上就是热式质量流量控制器的详情介绍，更多产品详情内容请关注“质量流量控制器”栏目。